Ränist ümmargune vahvel

Ränist ümmargune vahvel

See räni ümmargune vahvlite seeria on hoolikalt konstrueeritud, et pakkuda kompromissitustabiilne geomeetriavajalik õmblustetaautomatiseeritud käsitseminearenenud valukodades. Optimeeritud kogu diameetri spektrile alates2-tolline (50 mm) kuni 12-tolline (300 mm), on need substraadid üles ehitatud ülitäpse{0}}servaprofiiliga, et tagada pidev mehaaniline haakumine kiirete-robotite ja vaakumkinnituste ajal.

Täppis{0}}ajamiga seadmete ühilduvus:Iga vahvli puhul kehtivad jäigad tolerantsidtäpne ümarusja läbimõõdu järjepidevus, parandades oluliselt ühilduvust nii 200 mm pärandtööriistade kui ka täiustatud 300 mm automatiseeritud klastritega. Järgides rangelt rahvusvahelisi SEMI-standardeid sälkude ja lamedate mõõtmete osas, võimaldab põhimik peaaegu hetkelise tööriista kalibreerimise, vähendades mehaanilisi seisakuid.

Sujuv töötlemisvoog:Vahvliteste ülim mõõtmete stabiilsus asujuv töötlemisvoogläbi valmistamise kõige intensiivsemate etappide. Minimeerides massi ekstsentrilisuse keskpunkti-, vähendab substraat pöörlemisvibratsiooni suure-pöörlemissagedusega tsentrifuugimise ja keemilise-mehhaanilise planariseerimise (CMP) ajal, tagades ühtlase kile paksuse kogu pinnal.

Minimaalne joondamise häire: Ühtlased mõõtmedon kriitilise tähtsusega ruumi vähendamiseksjoondamise probleemidmitmekihilise{0}}fotolitograafia ajal. Vahvli stabiilne vormitegur tagab, et globaalsed joondusmärgid jäävad täiustatud skannerite hõivevahemikku, mis on otseses korrelatsioonisvahvli-taseme tootlus (WLY)suure{0}}tiheduse jaoksPower IC ja loogikasuuremahulisi seadmeid-tööstuslikud tootmisliinid.

Kuum tags: Räni ümmargune vahvel, Hiina ümmarguse räni vahvli tootjad, tarnijad, tehas